Ce sera une réponse "Meta" faisant référence aux autres réponses pour corriger certaines idées fausses.
Pendant la fabrication VLSI, différentes résolutions de lithographie sont utilisées aux différents niveaux et SEULEMENT les détails les plus modernes et les plus fins sont utilisés au niveau de la définition de la GATE. Même les étapes antérieures à la définition du poly silicium sont effectuées avec des outils de lithographie plus anciens (comme la définition de zone active STI - LOCOS, etc.).
La raison est très simple, pourquoi utiliser les outils les plus avancés (et donc les plus chers) qui utilisent les masques les plus chers pour définir des couches qui ont intrinsèquement moins de résolution?
En effet, le top Metal a tendance à être très épais pour supporter plus de courant pour éviter l'électro-migration et réduire la résistance des rails d'alimentation.
Par exemple, dans un processus à 180 nm, la grille est définie en utilisant une lithographie basée sur laser KrF à 248 nm avec un masque à changement de phase 5X. Ceci est également utilisé pour les contacts. Le métal 1 peut être réalisé dans un stepper plus qu'avec i-line @ 365nm et également un masque 5X, mais sans correction de phase appliquée.
Le fait est que les couches supérieures de la puce ont une résolution beaucoup plus basse et un pas beaucoup plus élevé que ce que le processus est "défini comme" - et même cette définition devient géniale la plupart du temps.
Le métal supérieur peut avoir une taille minimale de 3 mm dans ce processus de 180 nm ci-dessus, j'ai vérifié.
La passivation de la matrice supérieure est généralement soit du Si3N4, soit du polyimide. Ce qui a été supprimé sur ces photos.
Donc, la chose la plus probable est que ces images sont en fait des images de lumière visible prises au microscope. Les couleurs peuvent être dues au fait que la hauteur des structures est de l'ordre de la longueur d'onde de la lumière et a des effets diffractifs. Mais comme nous n'avons pas d'échelle, il n'est pas sûr d'être précis.
Mais il pourrait s'agir d'une micrographie électronique qui a été colorisée pour sa "beauté". Cela semble provenir d'une couverture d'un livre, et qui sait ce que le département d'art y fait.
Je ne suis donc pas disposé à dire l'un de l'autre qu'il est soit optique soit SEM. @ W5VO observe que la profondeur de champ semble trop grande pour l'optique, et je suis d'accord. Mais nous ne connaissons pas l'échelle ici, cette structure pourrait facilement atteindre 10 microns compte tenu de l'époque.
Jamais entendu parler d'un microgramme électronique - en vertu des conventions de dénomination standard qui se traduiraient par un "petit message électronique", je ne trouve pas non plus de liens vers quoi que ce soit le mentionnant. J'aimerais donc entendre ce que cela pourrait être.